ICF系统光学元件高精度波前检测技术研究

ICF系统光学元件高精度波前检测技术研究

张蓉竹[1]2003年在《ICF系统光学元件高精度波前检测技术研究》文中研究表明ICF驱动系统大口径光学元件加工质量的检测和评价工作是保证整个系统安全、正常、高效运行的关键,本论文在光学元件的高精度检测和评价方法上进行了新的探索,提出在检测中使用两个新参数——功率谱密度及波前位相梯度。另外为了降低目前我国ICF系统光学元件检测中过大的资金投入和不能满足需要的低空间分辨率问题,提出了子孔径拼接检测方法这一解决方案。所取得的主要研究结果包括: 一、将受光学元件加工质量影响产生的光束波前畸变根据空间频率的不同划分为叁个频段,研究了不同频段波前畸变对激光光束质量的影响。 二、根据B-T理论详细讨论了强激光系统中小尺度自聚焦的产生、B积分的推导过程,得到成丝破坏与输入激光功率之间的关系。 叁、将功率谱密度引入我国ICF驱动系统光学元件的检测评价工作中,对PSD的定义、算法进行了分析,并建立了PSD分析数值计算模型,提出了用于我国大口径光学元件PSD检测的具体算法。 四、使用PSD作为检测评价参数,对我国用于大口径光学元件检测的大口径干涉仪进行了传递函数标定、不同波前畸变情况对PSD分析的影响进行了研究,并具体对我国ICF驱动系统中使用的典型光学元件进行了检测分析。 五、针对我国光学检测中缺少直接与光束聚焦特性相关的参数问题,提出使用波前相位梯度作为检测参数的方法,并提出了建立我国ICF系统光学元件相位梯度检测标准的方法。 六、建立了波前相位梯度检测模型,解决了具体数值计算方法、检测方式等问题,并对我国典型ICF系统光学元件进行了波前相位梯度检测分析。 七、提出了子孔径拼接干涉检测方法,从而为解决我国ICF系统光学元件检测工作中遇到的分辨率低、设备投资过大等问题。建立了拼接检测模型,研究了它的可行性。 八、对子孔径拼接干涉检测系统的精度进行了详细的研究,通过数理统计方法得到了系统精度的计算方法,保证了子孔径拼接检测方法用于ICF系统元件检测的可靠性。 九、对子孔径拼接干涉检测系统进行了实验研究,验证了它的稳定性和精度。对大l一」径元件进行了拼接实验,为进一步完全实现ICF系统元件拼接检测作好了雕备。 十、编制了一套用于ICF系统光学元件子孔径拼接干涉检测的软件,软件包含PSD分析、波前相位梯度分析、P一V值及RMS值计一算、子孔径拼接检测分析等多种功能。 通过研究使得我国ICF光学元件质量检测从传统的空域过渡到了与系统要求联系更为紧密的频域,同时建立了一套实用化的,具有多种检测分析能力的子孔径拼接干涉仪。本文取得的成果对我国ICF驱动系统的建造具有实际和重要的理论意义和工程应用价值。

徐建程[2]2009年在《相位干涉测量的信息理论分析》文中研究指明惯性约束核聚变(ICF)是当今基础科学前沿领域之一,对国防事业和新能源开发有着极为重要的科学意义和应用价值。高功率固体激光装置作为ICF的驱动器,对所使用的大口径光学元件的中、低频制造误差提出了严格的要求。目前我国大口径光学元件中、低频位相信息的检测理论及其检测手段远不能满足工程需要。所以本文从信息论出发,建立了一套基于信息论的位相干涉检测理论,优化设计了干涉检测系统,实现了大口径光学元件中、低频制造误差的精密检测,得到了若干有意义的结果。利用Wigner分布函数建立了光学元件波前信息量的理论模型,该模型用空间带宽积描述波前的信息量、用基于Wigner分布函数的局部功率谱密度(PSD)评价局部波前畸变,结合全孔径PSD分析,可更全面地描述和评价波前信息,并能具体指导光学元件的返修。根据信息论建立了干涉成像系统信息容量的理论模型,该模型表明干涉成像系统的信息容量由系统的空间带宽积和信噪比决定,它有效地弥补了系统传递函数不能表征系统噪声的缺陷。根据统计光学建立了干涉成像系统信噪比的理论模型,以信噪比最大化为目标,优化设计了旋转毛玻璃、环形光源和CCD等关键器件。理论计算和实验结果表明:(1)为了获得高信噪比,应增大CCD的占空比和曝光时间;应控制旋转毛玻璃参数使旋转周期小于或等于CCD曝光时间、使光源相干长度为测试光和参考光间光程差的2至5倍。(2)环形光源的面积会影响系统的信噪比,当光源面积一定时环形光源抑制相干噪声的能力随内外径之比的增大而提高;利用环形光源可将平均信噪比从传统点光源模式下的5.2dB提高到8.6dB。从参数的统计估计理论出发,建立了位相估计精密度与干涉条纹光强数据Fisher信息量的关系,分析了现有算法的位相估计精度。为了提高位相估计精度,提出了基于最小二乘迭代的抗振时域相移算法、多光束相移算法和空间载波相移算法,分别有效地补偿了环境振动引入的随机平移和倾斜相移误差、多光束或多表面干涉引入的高阶谐波误差和随机空间载波频率引入的空间相移误差。数值计算和实验结果表明本文提出的算法精度优于现有同类算法。应用本文算法,降低了大口径干涉仪对环境稳定性和相移器性能的要求,节约了制造成本。为了测量光学元件中频段信息,以信息容量为目标函数,优化设计并研制了Φ100mm干涉仪系统,测试结果表明该系统一维空间带宽积大于100mm×2.5mm~(-1)、平均信噪比大于4dB。提出了采用子孔径PSD加权平均得到全孔径PSD的测量方法和干涉仪系统Wigner分布函数的标定及大口径光学元件中频信息的校准方法,实现了小口径干涉仪准确测量大口径光学元件的中频信息。通过本文研究,使得干涉检测系统的分析方法从傅立叶光学过渡到信息论、性能评价指标从系统传递函数过渡到信息容量,为高分辨率高精度干涉检测系统的设计及大口径光学元件中、低频制造误差的检测提供了更有效的理论指导。优化后的Φ500mm波长调谐相移干涉仪和Φ100mm高分辨率干涉仪基本满足了大型激光装置波前检测指标要求,为我国神光Ⅲ装置干涉检测配套能力的建立提供了可靠技术支撑和保障。

董军[3]2005年在《长焦距透镜像质评价技术的研究》文中认为在ICF激光驱动系统中,空间滤波器是系统的重要组件,具有滤除高频噪音、光束扩束、像传递等作用,而组成空间滤波器的长焦距球面透镜焦距的检测效率及其透镜面形误差的高精度检测一直是我国ICF系统光学元件检测中的一个难题。目前采用的检测方法仍然沿用传统的测量方法,即刀口检测法,这种方法的主要缺陷是对透镜面形不能进行定量检测,为这类透镜的加工带来困难;利用刀口法测量透镜的焦距也因为焦距过长,而需要占用很长的工作空间,降低了检测效率。本论文旨在对长焦距透镜面形检测方法进行新的探索,提出了基于Ronchi光栅泰伯效应的扫描测量法,可以大大提高检测效率,并给出定量的检测结果。主要工作及研究结果包括: 1,简要介绍了激光核聚变的有关知识,阐述了在ICF激光驱动系统中光学元件光学质量评价及其关键评价指标,以及长焦距球面透镜在ICF驱动系统中的作用。 2,简要介绍了当前采用的测量长焦距球面透镜焦距以及检测透镜面形误差的传统方法,重点阐述了透镜焦距测量的新方法——基于Ronchi光栅泰伯效应的长焦距测量法,及长焦距透镜面形检测的刀口测量法。 3,对基于Ronchi光栅泰伯效应的长焦距测量仪的重复性测量精度进行重新效核,研究了温度场对其测量精度的影响,并提出了改进方案,进行了实验研究,与未改进测量仪相比测量稳定性提高了8~10倍,标准差达到了1‰左右,使得测量仪的测量精度及其稳定性达到了实际测量的要求。

刘骏[4]2005年在《大口径光学元件透反射率测量系统的研究》文中研究指明在大口径光学元件高质量薄膜的制造过程中,对于透射率和反射率的均匀性测试是非常困难的。本论文介绍了一套专门设计的具有多功能、高精度、大口径、宽角度特点的大口径光学元件光谱性能以及均匀性测量装置。它能够实现口径350×600mm,厚度70mm的光学元件在0到70度入射角下,近紫外、可见光以及近红外连续光谱范围(340-1060nm)内,p-偏振光和s-偏振光透射率和反射率的自动测量。 本论文首先从理论上研究了大口径光学元件透射率和反射率的测量方法。以该方法为基础,具体分析了相关检测技术对于大口径微弱信号检测方法的适用性。 其次,论文深入研究了对大口径样品进行二维平面和角度均匀性检测的自动扫描技术,发展了利用积分球旋转消除厚样品轴向位移的单光路测量方法。 再次,论文详细介绍了总体结构、光学系统、机械系统、光电转换和控制系统、软件和数据处理系统的设计、制造和调试。光学系统部分论述了光路的设计原则,详细阐述了光学系统各部分的设计要求和性能;机械系统部分给出了角度扫描和二维平动扫描的实现方法,讨论了样品台的设计方法;光电转换与控制系统给出了光电转换的电路实现和单片机的控制流程,选取了合适的锁相放大器;自动监控与数据处理系统描述了计算机控制软件的界面和各个控制处理模块。 本文还利用搭建的大口径透反射率测量系统装置,就避免光纤形变对光检测的影响、利用大光敏面红外探测器进行弱红外光信号检测、样品的装夹和定位方法和技术等课题做了大量的实验研究,并提出了相应的解决方法。对测量系统的误差进行分析和讨论,并对仪器精度进行了校核:波长定位精度优于0.4nm,光谱均匀性测试的重复性精度和透射率、反射率的测量精度均优于0.5%。 论文的结尾,对大口径透反射率测量系统的改进与提高进行了展望。

张际[5]2007年在《强激光系统光学元件损伤暗场成像检测可行性研究》文中指出惯性约束聚变ICF中的光学损伤检测,是强激光系统光学元件损伤的在线暗场成像检测。无损、自动、快速检测是一种必然要求。本文先指出点火装置对自动损伤检测的迫切要求。然后在实验室条件下,模拟简单损伤检测实验,采集的损伤图像进行逐一对比,分析了这种方法的可行性,进行深入的实验研究及误差分析,提出了方法的初步设想。再在理论分析的基础上,提出了本文主要研究和实践的新方法—强激光系统光学元件损伤暗场成像自动检测,对可行性和优越性进行了分析,并利用实验采集图像进行验证。同时考虑了暗场损伤检测的另一种要求,即对入射检测光线进行质量控制,针对不同光阑进行设计和分析来达到对入射检测光的整形。分析和计算了当前采用的两种消衍射光阑-锯齿波纹光阑和高斯型软边光阑的原理和主要参数,并为理论上提出最佳消衍射光阑的设计做出参考。激光惯性约束聚变是国内外高技术项目之一,光学元件损伤自动检测正是高功率激光系统中一个重要的研究课题。暗场检测是目前应用比较广泛的一类强激光系统光学元件损伤检测,本文采用模拟实验验证与理论分析的方法,对强激光光学元件损伤检测进行了理论分析与光学实验研究,得到的主要研究成果如下:一、开展了强激光系统光学元件损伤暗场成像在线检测的可行性研究。二、给出损伤点扫描搜索算法,对损伤点进行自动寻找与识别。叁、给出损伤点分析计算方法,研制出损伤分析和鉴别软件,可以精确识别损伤点,为装置常规检测和故障及时诊断提供依据。四、开展了长程光传输无衍射的一些具体研究,讨论了结合多种滤波器消衍射的方法的可行性,利用了当前最流行的各种光束质量评价对消衍射滤波器进行定量分析,得出最优化设计,为进一步精确检测元件损伤做出铺垫。本论文提出的方法、处理技术与系统,有助于强激光系统中光学元件损伤的精确探测,为激光工程的应用提供了相关的理论依据、设计参数和可行性技术支持。

高福华[6]2003年在《衍射光学在ICF激光驱动系统中的应用研究》文中研究说明将衍射光学技术应用于ICF激光驱动系统中,对于改善激光束质量、提高系统整体性能、降低系统造价具有重要意义。本论文以我国ICF驱动装置神光Ⅲ及其原型样机TIL的研制为背景,以发展衍射光学技术、满足神光Ⅲ对DOE的迫切需求为目标,对应用于ICF驱动系统中的叁种重要衍射光学元件CSG、BSG、PCP的设计、制作及应用中的相关问题进行了深入、系统的研究。 根据ICF终端光学系统对谐波分离的实际要求,采用激光直写图形、根据光栅周期大小利用湿法或干法刻蚀成形的方法在国内首次制作成功Φ100mm等多种口径的CSG,并在高功率固体激光装置星光-Ⅱ上完成了元件性能的实验研究;通过理论分析,建立了CSG结构的加工误差模型,系统地研究了各种结构参数误差对CSG性能的影响,提出了CSG的加工精度要求,这对确定CSG的制作工艺具有指导意义。根据ICF终端光学系统对激光取样技术的要求,分析了BSG结构参数与其取样效率和分离角的关系;在此基础上,发展了电子束直写掩模曝光和光学全息曝光两种制作BSG的方法,分析比较了两种方法的优缺点,并进行了实验验证。同时结合ICF系统对元件多功能集成的需求,提出采用灰阶编码掩模方法制作CSG/BSG功能集成元件,该方法只需一次光刻制作集成DOE,且能通过掩膜编码预补偿设计改善光刻图形质量,为制作集成DOE提供了一种有效新方法。根据ICF多层放大系统对光束波前控制的要求,提出采用PCP校正静态波前畸变,并对元件的理论设计和加工制作进行了研究,取得了重要结果。 本论文的工作为CSG、BSG、PCP等衍射光学技术在神光Ⅲ系统中的应用提供了必要的理论和技术基础。

何祖斌[7]2007年在《相移干涉仪抗振技术研究》文中进行了进一步梳理在光学检测中,相移干涉测量技术得到了广泛的应用。但环境振动和空气扰动会严重影响测量的准确度。对于大口径干涉系统的影响尤其明显。如何提高相移干涉仪的抗振性能有着极为重要的意义。本文采用了频谱分析的方法及贝塞尔函数方法,建立了由振动引起的位相测量误差的理论模型,并进行了模拟计算。结果表明;位相误差值随着振动频率的增大而减小,主要是低频、大振幅振动影响测量结果;当振动频率等于移相器移相频率整数倍的时候,会出现位相误差极值;振动引起的位相误差的频率是干涉条纹频率的二倍,在位相图上会导致纹波出现,并且不能通过多次测量取平均的方法优化结果。在振动误差分析的基础上,本文提出了双最小二乘迭代抗振算法。结合实验室的实测环境振动特性和上述抗振算法,在振动环境下对Φ130mm的标准镜进行了测试,并与十叁步相移算法解算结果进行了比较,实验结果表明,采用本文的抗振相移算法,可将PV值测量精度由十叁步相移算法的0.1388λ提高到0.0642λ。文中振动误差理论从原理上解释了振动引入的误差原因,对振动环境下相移算法的选择具有指导性。同时所建立的双最小二乘迭代抗振算法具有迭代次数少、所需干涉图数量少、测量精度高、对振动影响不敏感等特点,为大口径光学元件的检测提供了效果较好且成本较低的解决方案。

隋展[8]2006年在《高功率激光系统中的光束全息控制》文中认为用于惯性约束聚变(ICF)研究的高功率激光驱动器是复杂、大型的科学工程,其主要的科学技术问题可归纳为两大类:一是能量转换问题,涉及“能量流”的转移和传递规律,决定了系统的效率和规模,主要是“量”的问题;其二是激光束控制问题,涉及“信息流”——激光光场各参数在输运过程中的变化规律和控制技术,决定了系统的性能参数和指标,主要是“质”的问题。 本论文着重于高功率激光系统的光束控制研究。以表征激光束特性的时间、振幅、光谱、位相等四个信息参量为对象,创新性地研究了脉冲时域整形技术、光强空间整形技术、光谱角色散技术和波前控制技术。首次提出并实现了啁啾脉冲堆积型的时间波形任意整形;液晶光阀可编程光强空间整形;特殊光栅光谱角色散焦斑束平滑和小尺度波前畸变的探测和补偿,从而对高功率激光系统的激光束实现了高精度、可编程、有效的“全息”控制。为提升新一代高功率激光系统的技术水平和性能指标提供了科学技术的支持。相关研究成果已撰写论文10余篇,授权专利1项。 本论文的主要内容与研究成果如下: 1、基于光学方法实现激光脉冲波形时域整形的研究 提出以啁啾脉冲堆积方法实现激光脉冲波形高精度整形的技术路线。对脉冲堆积时域整形的基本理论进行了详细的分析研究,实验研究了技术的可行性、方法和相关工程技术,获得了稳定的高精度可编程整形脉冲。为解决堆积脉冲的噪声问题,还开展了脉冲平滑滤波技术的研究。已成功地与实际运行的激光装置的前端系统进行了联机实验。 该项研究成果有助于使我国在脉冲时间波形的精确控制能力和技术水平上达到国际先进水平,将被采纳为我国新一代高功率激光系统神光Ⅲ的主脉冲成形方案。 2、激光束近场空间分布控制技术研究 提出利用液晶光阀空间光调制技术实现激光束近场空间分布的自动反馈、可编程控制的技术方案。研究了液晶光阀对高功率激光束空间整形的基本原理:实验研究了液晶光阀的强度调制特性、附加位相调制特性、附加高频调制特性、透过率稳定性和整形光束的空间传输特性;以及自动反馈控制的模型和方法,开发了控制软件。并在国际上首次成功地应用于激光聚变高功率激光系统中(神光Ⅲ原型装置)。3、激光脉冲光谱控制技术及应用研究 研究了高功率激光光谱色散平滑的基本理论,提出利用堆积啁啾脉冲的周期性光谱调制特性和新颖特殊光栅实现光谱角色散和激光束远场焦斑的时间平滑。建立了啁啾脉冲堆积的光谱调制模型并推导了其色散关系;提出并设计了圆光栅、星光栅、阵列型光栅等特殊光栅;数值模拟了的束平滑效果。结果表明平滑效果优良,具有实际应用的潜力。此外;对高功率激光系统中相位调制的边带失衡问题进行了研究并经实验验证,已应用于工程实践中。 4、激光束波前控制技术研究 提出利用级联液晶光阀空间光相位调制器和菲涅尔波带片阵列波前探测技术实现对激光束小尺度波前畸变进行控制的原理、方法和技术。 研究了高功率激光束的小尺度畸变波前的传输特性及其对高功率激光系统的影响;对液晶空间光调制器控制小尺度波前畸变的可行性进行了分析;用光学径向剪切干涉法和阵列菲涅耳波带片波前分割法检测小尺度畸变波前。实验验证了这一波前控制的可行性,达到了对小尺度波前畸变进行有效控制的目的。 本文的主要创新点归纳如下: 1.首次提出并实现了基于全光学方法、利用啁啾脉冲堆积技术实现激光脉冲波形高精度整形的原理、方法和技术; 2.首次提出并实现了在高功率激光系统中利用液晶光阀空间光调制技术实现激光束近场空间分布的可编程、自动反馈控制的原理、方法和技术; 3.首次提出利用周期性啁啾堆积脉冲和新颖的特殊光栅实现“一维”光谱角色散焦斑时间平滑的技术原理,理论模拟表明其效果相当好,某些结果可以与叁维光谱角色散比美; 4.首次提出并实现了在高功率激光系统中利用级联液晶光阀空间光相位调制器和菲涅尔波带片阵列波前探测技术实现对激光束小尺度波前畸变进行控制的原理、方法和技术。

刘兆栋[9]2011年在《φ600mm近红外相移斐索干涉仪校准及测试技术研究》文中提出高功率固体激光装置作为惯性约束聚变的驱动器,使用了大量高精度、大口径的光学元件,并对应有严格的分频段评价指标和要求,需要相应的大口径检测设备和技术提供支撑。本文研究了Φ600mm近红外相移斐索干涉仪校准与测试技术,解决了国内高功率固体激光装置中大口径光学元件生产制造急需的干涉测试设备问题。基于弹性力学和有限元方法研究了600mm口径标准透射平晶和标准反射平晶的径向支撑方式,设计了180°支撑角下双软梯吊带的吊装方式。分析了在此吊装方式下,由于标准平晶受力方式改变以及吊带轴向位置变化引起的干涉仪空腔波前变化,在其指导下将干涉仪空腔精度PV值调整到63nm,实际调整过程中的空腔波前检测结果与有限元分析结果相一致。设计了一种可见光与近红外光共光路的调整方法,解决了近红外光路的调整难题。提出了一种角锥棱镜扫描法,检测大口径干涉仪出射波前的准直性,指导干涉仪波前准直性的校准。采用45mm口径的角锥棱镜沿Φ600mm近红外相移斐索干涉仪的水平直径扫描检测出射波前,其PV值为1.18λ,RMS值为0.35λ。检测结果表明角锥棱镜扫描法对导轨的直线度没有特殊要求。提出了一种基于PSD的导轨直线度的检测方法,保证了五棱镜扫描法检测大口径准直波前的精度。测量了500mm长导轨的直线度,导轨俯仰角、偏摆角和滚转角的最大偏差分别为3.22'、1.16'和5.88'。分析了实验系统误差,结果表明测试精度可达0.2"。研究了功率谱密度的计算方法以及大口径干涉仪系统传递函数的检测方法。采用口径为100mm、台阶高度为126nm的台阶板,通过台阶位相比较法测量了近红外大口径相移斐索干涉仪系统传递函数。检测结果表明,系统在0.2mm-1空间频率处传递函数值为64%,满足了中频段的检测要求。分析了影响干涉仪系统传递函数测量的误差因素,包括:台阶高度的标定误差、两台阶面的相对倾斜量以及去噪预处理算法等。测试了近红外大口径相移斐索干涉仪的性能指标,其空腔精度PV值为63nm,重复性RMS值为0.3nm,稳定性PV值优于1nm;并采用斜入射绝对检验方法,在近红外大口径相移斐索干涉仪上测量了630mm口径的碳化硅平面反射镜垂线方向上的绝对面形分布,检测结果表明该反射镜面形精度RMS值为10nm。

张国伟[10]2013年在《高功率激光装置光学元件PSD1检测方法的研究》文中研究表明高功率固体激光装置对所使用光学元件的中高频段小尺度制造误差提出了要求,因为这种中高频分量扰动将可能严重影响整个光学系统的性能。本文针对我国ICF激光驱动器的发展要求,围绕评价参数PSD,开展了高功率激光装置中光学元件波前干涉检测技术的系统研究。深入地分析了PSD的定义和计算方法,针对目前国际上对PSD的研究,总结概括了四种常用算法,并且结合实验,分析了四种算法的优缺点。从PSD函数反计算面形高度图,提出了圆形孔径的径向平均方位角PSD算法,分析了此种算法对光学元件加工和分析的作用。最后,介绍了中频波前均方根的概念,减弱傅里叶变换中的Gibbs噪声影响的方法,以及误差函数滤波器的选取。简述干涉仪系统传递函数的概念和测试原理,制定传函实验方案,定量测试不同口径干涉仪的系统传递函数。结果表明小口径的干涉仪拥有更高的系统传函,最高可测频率可以达到1.5mm-1。最后分析了台阶板测量干涉仪传递函数中台阶板的实际高度、台阶面倾斜和干涉腔的距离对传递函数的影响。结合实验对PSD不同算法进行了分析,计算机模拟径向平均方位角算法,归纳分类高功率激光装置中使用的光学元件,实际测量计算不同类型光学元件的PSD指标,并且与NIF的指标相对比,拟定我国高功率激光装置中光学元件PSD检测方案。

参考文献:

[1]. ICF系统光学元件高精度波前检测技术研究[D]. 张蓉竹. 四川大学. 2003

[2]. 相位干涉测量的信息理论分析[D]. 徐建程. 中国工程物理研究院. 2009

[3]. 长焦距透镜像质评价技术的研究[D]. 董军. 四川大学. 2005

[4]. 大口径光学元件透反射率测量系统的研究[D]. 刘骏. 浙江大学. 2005

[5]. 强激光系统光学元件损伤暗场成像检测可行性研究[D]. 张际. 四川大学. 2007

[6]. 衍射光学在ICF激光驱动系统中的应用研究[D]. 高福华. 四川大学. 2003

[7]. 相移干涉仪抗振技术研究[D]. 何祖斌. 中国工程物理研究院. 2007

[8]. 高功率激光系统中的光束全息控制[D]. 隋展. 复旦大学. 2006

[9]. φ600mm近红外相移斐索干涉仪校准及测试技术研究[D]. 刘兆栋. 南京理工大学. 2011

[10]. 高功率激光装置光学元件PSD1检测方法的研究[D]. 张国伟. 南京理工大学. 2013

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