金霞[1]2004年在《数字波面干涉仪及其标准化研究》文中研究指明标准化工作在干涉仪的研究和生产过程中有着重要的作用。干涉仪标准是急需解决的工作。论文主要讨论了干涉仪标准的若干问题，研究了目前已有的干涉仪及其标准化状况，分析了计量保证方案对干涉仪标准的指导意义。提出了干涉仪标准和检定规程的框架。以数字波面干涉仪为例，制定了干涉仪的标准和检定规程，并研究了提高干涉仪性能的数据处理方式。
杨朋利[2]1992年在《数字波面干涉仪测量误差消除方法》文中提出主要论述了数字波面干涉仪在测量过程中影响测量准确度的各种误差,并介绍了对于不同误差的消除方法。
曹天宁[3]1987年在《激光数字波面干涉仪》文中进行了进一步梳理激光数字波面干涉仪是激光技术、计算机技术与干涉技术相结合而形成的一种超精实时测试仪器,主要用于测量光学零件表面的面形误差、光栅的衍射波面质量、透明材料均匀性和评价光学系统及光发射器件的波面质量。
佚名[4]1997年在《LDI-2激光数字波面干涉仪》文中研究指明富通光电工程公司新近开发出LDI－2激光数字波面干涉仪。仪器采用独特的数字移相方法，可进行实时数字干涉测量。这种干涉仪可用于精确定量测量凹球面镜的面形误差和曲率半径。配备辅助光学件后，本仪器还可以测量凸球面、平面、非球面镜的面形误差以及光学系统的波像差等
颜加军[5]2004年在《移相干涉术中波面计算方法以及移相器校正技术研究》文中研究表明移相干涉术(PSI)作为快速、非接触的精密测量手段，已经广泛地应用于光学零件、光学系统、精密表面的检测和其它与光程差参数相关的物理量的测量(如温度场、密度场等)。 本文首先介绍了移相干涉术的基本原理和特点，对其中的一些关键技术问题进行了研究。论文在对波面解包进行了详细理论分析的基础上，设计了相位解包算法，编制程序对实验数据进行了处理。提出了分析静态干涉图的新方法——虚光栅莫尔条纹法，该方法把移相干涉术和莫尔条纹法两者相结合，能够有效的解决实际干涉测量中的一些具体问题。以压电陶瓷(PZT)微位移器为主要研究对象，设计了一种基于最小二乘迭代的新算法，该算法可以解决压电陶瓷堆微位移驱动器在实际工作中引入的非线性误差的问题。对移相干涉术中的移相器的类进动问题进行了详细地理论分析，并设计了具体的实验，对波面旋转情况进行了定量的测试计算分析，给出了相位解包后的误差公式，分析了引起误差的因素，提出了控制误差的原则。
参考文献：
[1]. 数字波面干涉仪及其标准化研究[D]. 金霞. 南京理工大学. 2004
[2]. 数字波面干涉仪测量误差消除方法[J]. 杨朋利. 应用光学. 1992
[3]. 激光数字波面干涉仪[J]. 曹天宁. 实验技术与管理. 1987
[4]. LDI-2激光数字波面干涉仪[J]. 佚名. 光学仪器. 1997
[5]. 移相干涉术中波面计算方法以及移相器校正技术研究[D]. 颜加军. 南京理工大学. 2004