半导体制造论文

基于多层数据分析框架的半导体加工周期预测汤珺雅，李莉(同济大学电子与信息工程学院，上海201804)摘要：为了在大数据环境下利用制造数据对半导体加工周期进行准确预测，针对传统预...

基于数据分析的半导体制造生产运营管理方法研究顾琦曹彧王家好（华东光电集成器件研究所，安徽蚌埠233030）摘要：本文针对大数据背景下半导体生产线运行过程中所产生的高维、多源、异...