光刻机论文

  • 弹性支承平台结构的振动控制研究

    弹性支承平台结构的振动控制研究

    周伟勇[1]2012年在《航天器飞轮动力学建模与振动控制研究》文中研究表明反作用轮和动量轮(本文中统称为飞轮)是高精度航天器常用的姿态控制和姿态稳定设备,但飞轮工作期间会产生扰动力和扰动力矩,降低高精度航天器载荷的指向精度和指向稳定度,影响有效载荷性能。因此对飞轮系统进行振动控制势在必行。本文从理论...