光学镜头论文

魏全忠[1]2003年在《高性能光学系统定中心研究》文中研究表明本文以193nm(ArF)步进扫描投影光刻机中100nm投影光刻物镜为切入点,探讨高性能光学系统的定中心问题。首先介绍了新旧国家标准关于透镜中心误差的定义,归纳和总结了目前物镜装校定中心的叁个体系,讨论了光学系统中心误差自准反射法测量原...