• 大口径碳化硅质反射镜数控光学加工的研究

    大口径碳化硅质反射镜数控光学加工的研究

    范镝[1]2004年在《大口径碳化硅质反射镜数控光学加工的研究》文中研究说明随着空间光学技术的发展,传统反射镜材料已经不能满足空间光学系统的要求。碳化硅(SiC)材料以其较高的弹性模量,适中的密度,较小的热膨胀系数,较高的导热系数,耐热冲击性,高的比刚度和高度的尺寸稳定性等一系列优秀的物理性质,引起...
  • 相变制冷在激光腔镜中的应用研究

    相变制冷在激光腔镜中的应用研究

    伍志坚[1]2003年在《相变制冷在激光腔镜中的应用研究》文中进行了进一步梳理本文以大连化学物理研究所的高功率氧碘化学激光器激光腔镜为研究对象,分析在强激光辐照作用下的激光腔镜吸热发生的热变形现象。相变制冷技术作为迅速发展的交叉学科被引入激光领域,用于解决这类热变形问题。它具有明显的优点,但有关这一...
  • 高性能光学系统定中心研究

    高性能光学系统定中心研究

    魏全忠[1]2003年在《高性能光学系统定中心研究》文中研究表明本文以193nm(ArF)步进扫描投影光刻机中100nm投影光刻物镜为切入点,探讨高性能光学系统的定中心问题。首先介绍了新旧国家标准关于透镜中心误差的定义,归纳和总结了目前物镜装校定中心的叁个体系,讨论了光学系统中心误差自准反射法测量原...